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          產品目錄
          半導體顯微鏡 / PRODUCT SHOW
          MX61/MX61L金相顯微鏡
          產品名稱:MX61/MX61L金相顯微鏡
          所屬類別:半導體顯微鏡
          產品人氣:11150
          更新日期:2015/4/16 17:04:53
          詢價
          • 簡介
          • 技術參數
          • 應用領域
          • 下載

          MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了卓越的圖像分辨率和鮮明度。

          考慮了檢查效率的設計       


          主要操作集中配置在前面板上       

          前面板
          前面板                       
          [1] 照明強度旋鈕
          [2] 物鏡倍率切換                       
          [3] 孔徑光闌調節                       
          在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開閉調節,與物鏡的切換和觀察模式連動,用一個按鈕就可以操作。此外,用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對焦手柄,只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度,能夠防止錯誤操作。                   


          觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒       

          傾斜鏡筒示意圖
          傾斜鏡筒示意圖
          為了適應視點而調整座椅的高度,或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150                        mm,SEMIS8對應)的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢,甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離,可以在較大的平臺上輕松操作。                   


          高靈敏度載物臺可以迅速決定位置       

          內置離合器的載物臺手柄
          內置離合器的載物臺手柄
          對應300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍(Y方向284mm)。另外,內置離合器的載物臺手柄,可切換粗調和微調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,快速完成檢查。                   


          鮮明圖像和卓越的分辨率為特點的光學系       


          多種選擇可實現卓越的成像性能       

          物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產品陣容可供選擇。       

          觀察影像實例
          明視場觀察
          明視場觀察
          暗視場觀察
          暗視場觀察
          微分干涉觀察
          微分干涉觀察
          熒光觀察
          熒光觀察



          軟件方案       

          實現數字成像       

          MX61L配備了PC界面,可以讀取顯微鏡的電動功能。因此,捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率,為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。       


          使用數碼照相機記錄和保存數碼影像       

          三目鏡筒可以安裝數碼照相機??梢员4婧陀涗洈荡a影像,幫助創建觀察報告??梢罁猛緩膱D像質量、功能、使用方便性等方面選擇數碼照相機。       


          支持缺陷檢測的多種功能       


          快速切換物鏡,提高檢查速度       

          電動物鏡轉換器示意圖
          電動物鏡轉換器示意圖
          電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機,在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。                   


          變換物鏡,孔徑光闌(AS)也隨之調節       

          AS自動調節示意圖
          AS自動調節示意圖
          每次變換物鏡時都需要調節孔徑光闌(AS)的話,會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS(14級),只要切換物鏡就能以最合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調節AS,提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。                   


          幫助實現多種觀察的附件       


          安全快速的搬運晶圓       

          自動晶圓搬送機AL110(200 mm規格)組合
          自動晶圓搬送機AL110(200 mm規格)組合
          MX61L能與自動晶圓搬送機組合,組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執行從內面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外,晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器,那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。                   


          近紅外線觀察單元       

          由可見光線領域到近紅外線領域的像差校正物鏡,和紅外線用超廣角三目鏡筒等,對應近紅外線的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發揮威力。       

          近紅外線觀察單元
          近紅外線觀察單元
          粘合襯墊
          粘合襯墊


          熒光觀察單元       

          在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。       

          熒光鏡單元
          熒光鏡單元
          熒光觀察
          熒光觀察


          透射照明單元       

          透射照明單元
          透射照明單元
          對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載,實現了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA(數值孔徑)的B型號兩種型號。                   
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