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          產品目錄
          半導體顯微鏡 / PRODUCT SHOW
          MX61A金相顯微鏡
          產品名稱:MX61A金相顯微鏡
          所屬類別:半導體顯微鏡
          產品人氣:2989
          更新日期:2015/4/16 17:04:53
          詢價
          • 簡介
          • 技術參數
          • 應用領域
          • 下載

          MX61A是一款專門設計的半導體顯微鏡,可使操作人員以正確的人體工程學姿勢進行操作,有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測,保證了工作的效率和產品一體化。

          始終提供最佳觀察影像的光學系統       


          強大的缺陷檢查能力       

          采用了新穎的光學系統(UIS2),特別增強了明視場、暗視場的性能,從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫最佳化,實現了容易誤檢的中性顏色的再現,暗視場圖像的亮度約提高了四倍(與本公司原有產品比較)。       

          觀察影像實例
          明視場觀察
          明視場觀察
          新暗視場觀察
          新暗視場觀察
          傳統的暗視場觀察
          傳統的暗視場觀察


          自動調節最佳亮度       

          亮度光圈調節示意圖
          亮度光圈調節示意圖
          物鏡選擇和觀察方法切換連動,自動地調節亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。                   


          對應各種設備的實時AF       

          深紫外線觀察用物鏡
          深紫外線觀察用物鏡
          MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能優越的動態AF。新開發的多點方式的傳感器的采用,大幅度的提高了對焦時的穩定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中,實現了追蹤觀察位置的實時對焦。                   


          對應多種觀察方法       

          物鏡UIS2系列產品
          物鏡UIS2系列產品
          在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發揮高性能的UIS2物鏡系列產品,與各種觀察單元組合,可以在一臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。                        
          觀察方法的切換非常簡單,只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。                       
          觀察影像實例
          明視場觀察
          明視場觀察
          暗視場觀察
          暗視場觀察
          微分干涉觀察
          微分干涉觀察
          熒光觀察
          熒光觀察
          近紅外線觀察(左)和可見光線觀察(右)的比較
          近紅外線觀察(左)和可見光線觀察(右)的比較
                              


          提供擴展性的解決方案       


          提供擴展性的解決方案       

          適應分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模塊
          適應分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模塊
          "顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統全體進行控制。這個應用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡,還能控制數碼照相機、電動載物臺等外圍設備。軟件進一步拓展了MX61A的擴張性,滿足了不斷變化的分析需求。                       


          實現對人和環境都沒有危害的自動化       


          符合SEMI S2/S8標準       

          符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有關安全的基準),S8-0705(有關人體工程學的基準)和CE標識(歐洲強制性認證)等的國際標準。符合人體工程學和安全對策等,高水準的確保了可靠性。       


          可選的傾斜觀察筒       

          傾斜觀察筒示意圖
          傾斜觀察筒示意圖
          備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒??梢愿鶕猛具x擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號,或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。                   


          潔凈對應的電動物鏡轉換器       

          潔凈對應的電動物鏡轉換器
          潔凈對應的電動物鏡轉換器
          備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉換器。                       
          6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉換器,采用了新型馬達,實現了高速安靜的倍率轉換。                   


          高抗振本體       

          高倍率觀察圖像示意圖
          高倍率觀察圖像示意圖
          采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架。即便是高倍率觀察,也不會出現影像模糊的情況。                   


          可以觸摸屏操作的手控開關       

          手控開關操作部
          手控開關操作部
           配備了觸摸屏操作的手控開關,可以在檢查時執行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法,就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調節、DIC延遲調節、亮度調節和交換樣本時的載物臺退出均可以執行。                   


          幫助實現多種觀察的附件       


          晶圓搬送機組合       

          晶圓搬送機
          晶圓搬送機
          可以對應直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用,實現了對90 μm極薄晶圓的搬送,能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。                   


          自動載物臺組合       

          自動載物臺
          自動載物臺

           

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