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          產品目錄
          半導體顯微鏡 / PRODUCT SHOW
          AL120-12晶圓搬送機
          產品名稱:AL120-12晶圓搬送機
          所屬類別:半導體顯微鏡
          產品人氣:2781
          更新日期:2015/4/16 17:04:53
          詢價
          • 簡介
          • 技術參數
          • 應用領域
          • 下載

          AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。

          人機工程學設計,操作方便       

          • 可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設備的操作簡便性。           
          • 分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。           


          堅固、可靠和安全傳送       

          • 延續了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。           
          • 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。           
          • 宏觀觀察位置的最優化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。           


          專用宏觀照明裝置       

          專用宏觀照明裝置
          專用宏觀照明裝置
          為異物、傷痕、膜斑、散焦的發現提供了理想的照明方式                        
          高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實現了300 mm晶圓的冷光源全面照射。

           

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